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东京大学研发掺镓氧化铟晶体管 突破硅材料瓶颈提升AI效能
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东京大学的研究团队最近在微电子技术方面取得重要进展,成功研制出一种具有革命意义的新型晶体管。该晶体管不再使用传统硅材料,而是采用掺镓氧化铟能(InGaOx)晶体材料,有望在人工智能与大数据处理领域显著提升计算性能,并为后硅时代延续摩尔定律的发展提供可能。
作为20世纪最重要的发明之一,晶体管是现代电子产品不可或缺的核心元件,主要用于控制和放大电子信号。然而,随着电子设备向更小尺寸和更高速度发展,传统硅基晶体管正遭遇物理极限带来的瓶颈。为了应对这一挑战,东京大学研究团队提出了一项创新性的解决方案。
该团队选用了掺镓氧化铟作为替代材料,这种材料能够形成高度有序的晶体结构,从而有效提升电子迁移效率。新晶体管采用了环绕式栅极(gate-all-around;GAA)结构,栅极完全包裹住电流通道,大幅提高了电子迁移率和器件长期运行的稳定性。
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项目核心研究人员陈安兰指出,通过在氧化铟中加入镓元素,团队成功优化了
材料的电学性能。实验结果表明,掺镓后的氧化铟可以有效减少氧缺陷问题,从而增强晶体管的整体稳定性。研究人员利用原子层沉积工艺逐层构建InGaOx薄膜,并通过加热手段将其转化为目标晶体结构,最终制成了高性能金属氧化物场效应晶体管(MOSFET)。
据陈安兰介绍,这款环绕式MOSFET实现了高达44.5cm²/Vs的迁移率,并且在应力测试下连续稳定工作近三小时,表现出良好的可靠性。这项成果为满足高运算需求的应用提供了高效、密集的电子元件设计方案,预示着下一代半导体技术将顺利推进,并对人们的日常生活带来深远影响。
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2025-06-29
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